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氧化物TFT面板日益成熟 各大厂加速投资

电子时报 CINNO 2020-11-10

具有低功率设计与小型化优点的氧化物(Oxide)薄膜晶体管(Thin-Film Transistor;TFT)面板,正在市场上快速扩张势力。苹果(Apple)近期即将上市的iPad Pro就决定采用氧化物TFT面板,让韩、陆、日面板大厂纷纷加速投资扩充产线,设备业界也可望受惠。

据ET News报导,业界消息传出,最近显示器业界正加速扩充属于高阶显示器基板的氧化物TFT面板产能。将现有非晶硅(a-Si)TFT液晶显示器(LCD)生产线的一部分,转换为氧化物TFT生产线或是增设新产线。

氧化物TFT与传统a-Si TFT比较,电子移动率(electron mobility)更高,能实现低功率设计,也能让电池效率极大化。厚度可比传统面板降低30%以上,有利于生产更纤薄的成品。在属于中小尺寸的平板计算机等领域已率先使用当中。

而苹果预定9月上市的新一代iPad将搭载氧化物TFT,也让未来iMac与iPad其它产品跟进采用氧化物TFT面板的可能性提高。激励海内外的显示器业者因应此一潮流,开始扩充产能。

三星显示器(Samsung Display)位于韩国天安的5世代(1,100×1,300mm)L6生产线正在转换为氧化物生产线。现在每月生产规模为4万片,预定2016年将扩产达月产量10万片的规模;乐金显示器(LG Display;LGD)也在坡州8世代厂的P8、P9线进行氧化物生产线的扩充与改造。

而拥有最大规模氧化物TFT生产设备的是夏普(Sharp),目前8世代(2,200×2,500mm)生产线每月量产3万片以上,也计划配合苹果的需求进行扩产。

以京东方、中电熊猫、华星光电为首的大陆业者们,目前处于生产的测试阶段,预定在2015年内将正式量产。大陆政府更订下目标,将在2016年将LTPS、氧化物TFT基板LCD产量提升到年产量500万平方公尺。

另一方面,面板设备业界也前景看好。氧化物TFT制程需要经过几百度高温的热处理,以完成结晶化的作业。而相关设备在既有的a-SiTFT制程中不常使用,未来市场需求可望成长。除了拥有独家技术的韩国Viatron、Tera Semicon等业者受到看好,设备业者们也争相准备进军热处理设备市场。

业界人士表示,氧化物TFT因为使用有机材料,对外部环境相当敏感,也让维持良率成为一大难题,不过技术上已经有一定程度的改善。不久后就会成为与LTPS基板并驾齐驱的下一代基板技术。


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